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冷阴极电离真空规
作者:ag8亚洲游戏    发布日期:2020-07-04 15:12


  冷阴极电离真空规_生产/经营管理_经管营销_专业资料。冷阴极电离真空计 ? 冷阴极电离真空计是以冷阴极取代热 阴极作为电离真空计的离子源,利用低压 力下气体分子的电离与压力有关的特性, 用放电电流做为真空度的测量,俗称冷规。 冷规的组成 ? 冷规由规

  冷阴极电离真空计 ? 冷阴极电离真空计是以冷阴极取代热 阴极作为电离真空计的离子源,利用低压 力下气体分子的电离与压力有关的特性, 用放电电流做为真空度的测量,俗称冷规。 冷规的组成 ? 冷规由规管和测量线路两部分组成,这种 真空计规管中的电子是在平行电磁场或正 交电磁场作用下维持放电而进行工作的, 因此被称为磁放电真空计。 冷规的分类 ? 冷规主要有两大类型,即电场与磁场方向 相互平行的普通型冷阴极电离真空计和电 场与磁场方向相互垂直的磁控管式冷阴极 电离真空计。而后者又分为倒置磁控管式 和正置磁控管式两种类型。 冷阴极电离线.冷阴极消除了因为高温灯丝产生的化学清 除作用,使真空计读数不受影响。 ? 2.不需要对热丝电子发射和控制,简化了仪 器结构。 ? 3.被测容器发生漏气时冷规管不存在被烧毁 的危险。 ? 4.冷规管可避免被真空系统内部的化学活性 气体所毒化或破坏,因此使用时间比较长。 冷阴极电离线.冷规管灵敏度比普通型电离规管灵敏度高 1个数量级。 ? 6.冷规管结构与控制线路均较简单,易于制 作。 ? 7.冷规继承了电离计的一般特性,能够连续, 远距离测量全压力,响应速度快。 冷阴极电离真空计缺点 ? 冷阴极电离真空计的主要缺点是冷规管必 须具备磁铁,因此使规管占用的体积大, 而且因磁场不能承受高温烘烤去气,必须 去下磁铁,从而给操作带来不便,而且由 于此帖的存在,无法将其放入大容器的内 部代替裸规快速测定各部分的压力,以求 的空间的压力分布。 普通型冷阴极电离真空计 ? 工作原理是利用低压下气体分 子的电离电流与压力有关的特 性,用放电电流做为真空度的 测量指示,有电流cb做为真空 度指示仪表给出读数。 ? 冷电离真空计是靠冷发射所产 生的少量电子在正交电磁场作 用下,能够长时间在两块阴极 极板间往返作螺旋线行运动, 直至被测气体分子放生碰撞, 使其电离,最后电子被阳极吸 收,电离产生的正离子高速的 打到阴极上,并且产生二次电 子发射。气体分子电离产生的 电子和阴极发射产生的二次电 子也在阴极极板间做长期运动, 从而使电离过程连锁进行. 测量范围 ? 测量低压力时采用高 电压,大尺寸的电离 室; ? 测量高压力时采用低 电压,小尺寸的电离 室。 10 ?5Pa ? 测量范围1-

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